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高效过滤器完整性测试结果确认表

日期:2014-08-14来源:俊威净化浏览次数:180
高效过滤器完整性测试结果确认表
FFU编号   泄漏率接收标准小于0.01%         结论
F1167-1   □符合 □不符合
F1167-2 □符合 □不符合
F1167-3 □符合 □不符合
F1167-4 □符合 □不符合
F1167-5 □符合 □不符合
F1167-6 □符合 □不符合
F1167-7 □符合 □不符合
F1167-8 □符合 □不符合
 
备注: 
①、检漏操作详见:
(a)SOP-17000006《ATI高效过滤器泄露测试系统标准操作规程》
(b)SOP-17000005《TDA-5C气溶胶发生器标准操作规程》
②、检查结果详见报告附件
检查人:                 复核人:                日期:     年   月   日
偏差说明与结论:                                                          
                                                                          
评价人:                                         日期:     年   月   日

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