高效过滤器完整性测试结果确认表
日期:2014-08-14来源:俊威净化浏览次数:180
高效过滤器完整性测试结果确认表
FFU编号 |
泄漏率接收标准小于0.01% |
结论 |
F1167-1 |
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□符合 □不符合 |
F1167-2 |
□符合 □不符合 |
F1167-3 |
□符合 □不符合 |
F1167-4 |
□符合 □不符合 |
F1167-5 |
□符合 □不符合 |
F1167-6 |
□符合 □不符合 |
F1167-7 |
□符合 □不符合 |
F1167-8 |
□符合 □不符合 |
备注:
①、检漏操作详见:
(a)SOP-17000006《ATI高效过滤器泄露测试系统标准操作规程》
(b)SOP-17000005《TDA-5C气溶胶发生器标准操作规程》
②、检查结果详见报告附件
检查人: 复核人: 日期: 年 月 日
偏差说明与结论:
评价人: 日期: 年 月 日