无尘车间空气过滤的原理和温湿度的要求：
1．空气过滤原理
无尘车间空气是靠进风系统将气流“活塞”般的挤压进入，气流通过初效过滤器，然后再经中效过滤器，然后经过高效或超高效过滤器，将洁净空气传入无尘车间，使无尘车间空气尘粒迅速达到相应无尘车间标准要求，并且把洁净室内污染排出。为考虑节能，排出的污染空气经过回风后，再经过高效或超高效过滤器传入无尘车间。
2．温湿度要求
无尘车间空气温湿度的要求由以下综合确定：
（1）对人的舒适性，以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率，一般温度以21OC~24OC较适宜，若洁净服要求严，则20OC~22OC，波动＜1.5OC，湿度30%~70%；
（2）工艺的要求；
（3）经济性，温湿度及相对湿度夏天越低，冬天越高，则空气处理能耗越大。
当前微电子工厂无尘车间对温湿度的参数大致范围是：温度为24OC+/-1~2OC，要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。
无尘室净化工程空气流的特点：
1、送入的洁净气流能尽快均匀分布或扩散到整个洁净区，以冲淡室内污染源散发的尘和菌对空气的污染，维持生产环境所要求的洁净度。
2、能快捷地把污染源散发到无尘室的尘和菌从室内排走，避免或减少涡流和死角，缩短尘、菌在室内滞留时间，以减小与产品接触的几率。
3、兼顾室内温、湿度均匀性等空调送风的要求及工作人员的舒适要求。
由于与一般空调房间的主要任务不同所以气流组织的方案也必然有所差异。对于舒适性空调房间和普通温、湿度精度的生产车间，考虑其空气气流组织方案的基点是采用尽可能大的送风温差，以便减少送风量，使系统设备、管道都更小，初投资和运行费用更低。所以通常夏季采用机器露点送风。因为送入空气与室温温差大，为避免室内生活区、工作去温度不均匀或 有吹冷风、吹热风的不舒适感。所以无论是采用侧送风口或是顶送散热器，都要求其出风有较强的紊流系数，具有一定的引射能力，以利于吸收了室内热湿负荷的空气被卷吸及掺混到送风气流中，使送风气流的温、湿度尽快地接近于室内设计温、湿度。当送风气流以回流的状态进入生活区、工作区时，其温、湿度从工艺要求来看，已进入控制精度范围；从人的感受来说也是柔和可以接受的。
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