随着科学技术的发展，新型空气过滤器功能在洁净室中除了要求控制微粒、微生物的浓度外，化学污染物或重金属物质对产品质量人员健康的影响也日术的飞跃发展，空气中能够危害产品生产质量，引起产品成品率降低的化学污染物质被称为为“分子级污染物”L40lecular Contamination的缩写），国际半导体设备与材料协会(SEMI)在F’21-95标准中将“分子级污染物”分为四类，即酸性( MA)、碱性(MB)、可凝性(MD)，对每一类分为5个浓度等级。
        空气中的AMC的污染物包括多种有害气体和金属离子1属于酸性AMC的化学腐蚀性气相物质有氟化妻二氧化硫( S02氢(HCl)、氮氧化物(N0x)等；碱性AMC主要有氨气(NH3)、甲胺(CH3NH2)等；可凝性AMC是指在常温常压下能在干净表面凝结的气相物蓉、碳氢化合物等；掺杂性AMC是指能够改变半导体材料性能的化学物质，如硼(B)、磷(P)、钾(K)．、钠(Na)、钙(Ca)和各种金属离子等。
为了扣各类化学污染物浓度，应采用多种污染制技术措施，包括净室建造材料污染物控慑污染控制、室外和室内空气在洁净室内设局部超净设备或微环境隔离易受AMC污染危害的生产工艺或生产设备。
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