洁净室用空气过滤器种类繁多,
洁净室空气过滤器的分类根据过滤器不同使用目的,采用不同的过滤材料、不同的过滤效率和不同的结构形式;
空气过滤器有各种不同的分类方法或不同的称谓。
洁净室的过滤器按使用目的不同划分如下。
新风处理用过滤器 用于净化空调系统的新风即室外新鲜空气的处理,通常采用粗效、中效、高中效、亚高效,有时还采用
高效过滤器处理新风,若产品生产要求去除化学污染物时,还需设化学过滤器等。
室内送风用过滤器 通于
净化空调系统的末端讨滤,通常采用亚高效、高效、超高效或ULPA+化学过滤器或HEPA+化学过滤器等。
排气用过滤器 为防止洁净室内产品生产过程中产生的污染物(包括各种有害物质如有害气体、微生物——病毒、细菌或致敏物质等)对大气环境酌污染,常常在洁净室的排气管道上应设置性能可靠的排气过滤器,排气经过滤处理达到规定的排气标准后才能排人大气。一般采用亚高效、高效或高效+化学过滤器等。
洁净室设备装过滤器 这是指洁净室内通过内循环方式达到所需的空气洁净度等级使用的空气过滤器,一般采用高效、超高效或HEPA+化学过滤器或’ULPA+化学过滤器。
制造设备内装过滤器 这是指与产品制造设备组合为一体HEPA、ULPA或HEPA+化学过滤器。这些过滤器与制造设备密切相关,而制造设备的要求差异很大,所以一般均为“非标。
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