净化循环机组风机过滤单元，不这是在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元机组(Fan Filter Unit，简称FFU)，构成净化循环机组，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱光到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱，根据洁净室的温度调节需要，一般在回风夹道设干式表冷器。新风处理机可集良空调机房内，处理后新风直接送人送风静压箱。因送风静压箱为负压，有利于高效过滤器顶棚的密封；但由于FFU机组台数较多，在满布率较高时，一般投资较大，运行费用亦多，有的FFU噪声较大，选用时需要注意。
        它是由送风机安装在HPA或ULPA之上，1台送风机可配数台高效过滤器的空气唇环系统，这种模块式风机单元（Fan Module Unit，简称FMU）循环系统是无风管道方式，空气输送速度较低，送风机和过滤器维修较方便，能量消耗少。
新风处理系统
        当有多套净化空调系统同时运行时，可以采用新风集中处理，再分别供给各套净化空调系统的方式。因为净化新风比一般不会很高，每个系统均设新风预处段，就不如集中处理更节省设备投资和空调机房面积，并且还可以按产品生产要求，在新风处理系统将室外新鲜空气中的化学污染物去除。新风集中处理的净化空调系统.。由于新风是洁净室主要污染源之一，新风处理不好，会降低表冷器的传热系数和高效过滤器的使用寿命。因此对新风进行多级过滤处理是很有必要的。目前常用的是新风高效过滤处理。有些地方新风需经过水喷淋或化学过滤器处理。
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