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含有空气过滤器的净化空调系统的分类

日期:2014-04-24来源:俊威净化浏览次数:235
       净化空调系统一般可分为集中式和分散式两种类型。集中式净化空调系统是净化空调设备(如加热器、冷却器、加湿中效过滤器、风机等)集中设置在空调机房内,用风管将洁净空气送给各个洁澈式净化空调系统是在一般的空调环境或低级别净化环境中,设置净化设备或净化空调设备,如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等。随着科学技术的发展,尤其是半导体集成电路制造技术的迅猛发展,对生产环境的空气洁净度要求越来越高,现今的超大规模集成电路生产要求控制空气中的0.05 微米的微粒浓度和分子级污染物,因此洁净室的送风方式发生了很大变化,在半导体芯过程要求高洁净度的洁净厂房中,其净化空调系统采用循环空气方式,其循环方式主要有集中方式、隧道方式、风机过滤单元(FFU)方式和微环境十开放式洁净室方式等。这些送风方式既可满足高洁净度要求,还可以不同程度地降低能量消耗。

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