FFU是由风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”，利用FFU风机过滤单元内部的风机（电机+叶轮）将空气（风）吸入，所吸收的空气（风）经过FFU下面的HEPA（高效空气过滤器）或者ULPA（超高效过滤器）滤网，将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，最后把新风以0.45m/s±10%的风速均匀送到洁净室。能使用FFU的无尘室一般来说，都是洁净度在千级以上的。其基本结构是空气首先经过MAU（首次过滤，初中效过滤器）进入无尘室顶部，再通过FFU（二次过滤，HEPA或ULPA）将风送进无尘室内，送下来的风通过高架地板，再进入回风箱送到无尘室顶部。
       FFU通常安装在无尘室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上，FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器，根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效或超高效过滤器，为无尘室提供洁净空气，风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速，FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业无尘室的流行系统形式之一。
FFU具有的特点：
       第一，灵活性：因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制，在一个偌大的无尘厂房里可根据要求，分区控制，而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
       第二，可再利用性，从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
       第三，负压通风，这是FFU的独特特点，由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于无尘厂房负压，这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。
       第四，缩短建设周期，使用FFU省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
       第五，减少运行成本，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能，免维护等特点，用大循环减少40%的运行成本。
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