对含酸、碱气体可用湿式淋洗方法处理，可直接用水，或用其他化学溶液如氨水、氢氧化钠溶液进行中和。对含砷（如三氯化砷）、磷（如三氯化磷）等的废气，可喷进酸、碱溶液吸收，其中50%氢氧化钠对PCl3吸收效果好，但对AsCl3的效果不理想。对含砷化氢(AsH3)的气体可用饱和高锰酸钾溶液喷淋吸收。对含四氯化硅(SiCl4 )的尾气可直接淋水进行水解。其他工艺尾气如氮气、氧气、氨气、硅烷等也可淋水吸收。也可用加热（燃烧）兼水洗方法去除有害气体。对于未处理的或反应剩余的可燃性气体如氢气、硅甲烷，可利用加热（燃烧）方式将其高温氧化；若为有毒有腐蚀性或易爆气体，可溶于水的，利用冷水洗涤冷却。还可用活性炭加添加剂的化学过滤器处理有害气体。也可用化学吸附方式将有害气体吸附至金属罐中，通过压力或出口浓度传感器，检测吸附剂是否饱和，定时更换吸附剂。还可用沸石浓缩转轮加直燃式焚化系统，使废气经过一浓缩转轮浓缩，浓缩倍率可提高10倍，再将高浓度的有机废气送人燃烧机燃烧后排放，因此燃烧机的大小可为原来的1/10。后段燃烧分解效率可达99%。通过转轮机的气体速度以不超2m/s最佳。此种方式由于完全燃烧而无二次污染。