电子工业洁净室空调净化系统主要有以下几种形式：
①垂直单向流集中送风方式；②风机过滤单元送风方式；③隧道送风方式；④非单向流送风加层流罩送风方式；⑤微环境方式。
垂直单向流集中送风方式的洁净室空间包括活动地板以下的下技术层、工作层和上技术层。如果面积不大，级别不高于5级(ISO)，下技术层即为不高的回风层，室内空气通过格栅地板经过中效过滤器回风，如果洁净室面积大，洁净度要求送风均匀，也就是要求回风静压箱内气流分布均匀，该有高的层高。
该层的回风地板系统一般由两层组成，一层是铝合金抗静电格栅活动地板，用250一300mm的支架架设在开孔模数为600nm、厚500-1000mm的钢筋混凝土现浇刚性地板上.
该刚性混凝土地板有独立基础，直接坐落在基岩上。
中间的工作层即是生产层，是洁净室的主体。吊顶以上的上技术层是设备管道夹层，由于有设备，所以吊顶为硬吊顶。
以上三层应视作一个洁净室（区）空间。
该方式不仅有技术夹层，也有技术夹道。这样可以满足风管和各种动力管线安装、维护要求。当穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造足风管、管线的安装，抢修和人防要求。
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