洁净室内的气流组织方式主要分为以下几种类型：
１．垂直平行流
这种气流方向是出房间顶棚垂直向下流向地板。为了实现这种气流组织方式，可采用顶棚满布高效过滤器（高效过滤器占顶棚的面积≥６０％），回风采用栅格地板回风口或四周侧墙下部均匀布置回风口，这样可获得均匀的向下气流，工艺设备可布置在室内的任意处。其特点是自净能力强，可简化人身的净化设备；缺点是初投资高，且操作维护费都高，灯具布置困难。
垂直平行流也可采用侧布
高效过滤器。气流的下送，采用在顶棚上布置全孔板或阻尼层，使气流下行，回风仍用栅格地板回风口或四周侧描下部均布回风口。特点是安装的高效过滤器较小，可节约初投资，但运转费用较高。
垂直平行流流过房间截面的风速不小于０．２５m/S，即换气次数大约为３００ －５００次/h.
２．水平平行流
其气流流向为平行于地面。可采用送风墙满布或均布（大于４０％）高效过滤器水平送风，回风墙可满布或均布回风口。房间截面风速≥０.３５ｍ／ｓ，换气次数约为３００－５００次/h。
水平平行流在第一工作区的洁净度可达３级，随着与送风墙的距离增加，洁净度下降。
水平平行流的造价比顶棚满布高效过滤器的垂直平行流低，但空气流动过程中含尘浓度逐渐增加。该气流组织方式适用于有多种洁净度要求的工艺过程。
３．乱流流型
适用于洁净度在３０级以上的各种洁净室。
对于洁净度为３０级的洁净室，可采用顶棚布高效过滤器或孔板顶送，在相对两侧墙下均布回风口等。
对于洁净度为３００级或３０００级以上的洁净室，可采用上侧送风，同侧墙下回风方式；也可采用局部孔板顶送揣下布置回武；也可采用带扩散板高校过滤器风口顶送，在单侧则墙下布置回风等方式。
选择洁净室气流组织方式时，应从工艺要求出发，尽量采用局部净化。当局部净化不能满足要求时，可采用局部净化与全面净化相结合的方式或采用全面净化。
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