不同工厂对空气质量的要求差别很大。装有排烟罩和污染控制设备的工厂需要补充大量的空气, 如果这些工厂所在地区环境空气受到污染, 那么在将补充的空气分布到工作场所之前必须先进行过滤。
在半导体生产和制药工业中, 对空气的洁净度要求较高。典型的工作环境中, 每立方英尺空气中含有500000个粒子, 而半导体生产的最新要求是每立方英尺空气中只有1 个粒子。因此, 工作间需要用经过高效过滤器过滤的洁净空气不断地循环清洗。为保持HEPA 过滤器的洁净和寿命, 还需要几段效率较低的预滤器联合使用。
生产工厂
空气过滤器应用，工业用洁净室要求连续有效地去除粒径更小的粒子。HEPA 过滤器一度是效率最高的过滤器, 现在UL PA 过滤器则是效率最高的过滤器, 以后更高效率的新一代过滤器也将得以开发应用。微细玻璃纤维过滤介质是过滤器介质的主要选择, 但膜和静电增强介质已向该领域渗透, 并获得部分应用。
对于工厂、车间排放的废气,要求最严格的是毒性。某些重金属如汞、砷、铬、铍等毒性很大, 其排放限制非常严格。在空气毒性方面, 美国和德国已经通过了新的更严格的立法。执行新的立法后, 空气毒性的限制由原来的20mg/m3 (标准) 降低到010004mg/m3 (标准)。为达到这一目标, 工厂需要更先进的过滤器以除去亚微粒子。一些德国公司使用传统的折叠式微细玻璃纤维高效过滤器用于过滤系统, 同脉冲空气洁净机理相互配合, 并使过滤介质的波纹更密。一家美国公司则通过设计管式微细玻璃纤维HEPA 过滤器又向前进了一步。
无尘车间空气过滤的原理和温湿度的要求：
1．空气过滤原理
无尘车间空气是靠进风系统将气流“活塞”般的挤压进入，气流通过初效过滤器，然后再经中效过滤器，然后经过高效或超高效过滤器，将洁净空气传入无尘车间，使无尘车间空气尘粒迅速达到相应无尘车间标准要求，并且把洁净室内污染排出。为考虑节能，排出的污染空气经过回风后，再经过高效或超高效过滤器传入无尘车间。
2．温湿度要求
无尘车间空气温湿度的要求由以下综合确定：
（1）对人的舒适性，以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率，一般温度以21OC~24OC较适宜，若洁净服要求严，则20OC~22OC，波动＜1.5OC，湿度30%~70%；
（2）工艺的要求；
（3）经济性，温湿度及相对湿度夏天越低，冬天越高，则空气处理能耗越大。
当前微电子工厂无尘车间对温湿度的参数大致范围是：温度为24OC+/-1~2OC，要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。
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