无尘车间净化现如今并不陌生,在很多行业,为了达到一个洁净无污染的空间,都会选择设计建设一个能控制洁净度和温湿度的空间,这样的空间能够保证产品的生产制造,这样的空间我们称之为无尘净化车间。人和净化在拥有十余年净化工程行业经验,严格按照国家标准,专业承接十级、百级到千万级净化工程的设计、施工、调试,下面为您介绍无尘车间净化的3种方式。
无尘车间净化方式一、全室净化
以集中净化空调系统,在整个房间内造成具有相同洁净度环境的净化处理方式,叫全室净化。这是洁净技术中最早发展起来的一种方式,并且现在也仍然被采用。这种方式适合于工艺设备高大,数量很多,且室内要求相同洁净度的场所。但是这种方式投资大、运行管理复杂、建设周期长。
无尘车间净化方式二、局部净化
以净化空调器或局部净化设备(如洁净工作台、棚式垂直层流单元、层流罩等),在一般空调环境中造成局部区域具有一定洁净度级别环境的净化处理方式叫局部净化。这种方式适合于生产批量较小或利用原有厂房进行技术改造的场所。目前,应用最广泛的是全室净化与局部净化相结合的净化处理方式,这是洁净技术发展中产生的净化方式,它既能保证室内具有一定洁净度,又能在局部区域实现高洁净度环境,从而达到既满足生产对高洁净度环境的要求,又节约能源的双重目的。例如,需要100级洁净度的操作工段,当生产批量较小时,只要在洁净度较低的乱流洁净室内,利用洁净工作台或层流罩等局部净化设备,就能实现全室净化与局部净化相结合的净化方式。
无尘车间净化方式三、洁净隧道
以两条层流工艺区和中间的乱流操作活动区组成隧道形洁净环境的净化处理方式叫洁净隧道。这是全室净化与局部净化相结合的典型,是目前推广采用的净化方式,也被称之为第三代净化方式。
无尘室工程基于微电子和光电子加工工艺的精密化,微细化和规模化,就决定了它对生产环境的的要求就越来越高,它对环境的要求可用净、精、纯、严四个字来形容:以下是扬帆净化技术有限公司提供:
净:无尘室工程电子工厂,尤其是微电子前工序和光电子前工序的洁净室对环境洁净度的要求越来越净。例如,12吋园片超大规模集成电路前工序光刻间的洁净度要求高达1级(0.1μm)也就是每立方英尺空气中≥0.1 μm的粒子数不能超过1颗。相当于ISO 1级。特别重要的是它对环境空气提出了去除分子污染(SO2 , Nox , VOC ,NH3等)的要求。
精:电子工厂生产工艺对环境空气温、湿度的控制精度要求越来越精。还以上述微电子的光刻间为例:其温度精度为±0.1℃,相对湿度的精度为±3%。
纯:大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。例如:对高纯水而言,不仅对其电阻率有要求,无尘室工程对高纯水中所含粒子、细菌、重金属以及其他元素的离子成份都有严格的要求,随着生产工艺的发展,对其纯度的要求也越来越高。可谓纯之又纯。
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